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ARTICLESHMS-901AH智能光刻烤膠機、硅精片高精度加熱板帶有負壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果。
HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)板表面溫度均勻,溫度100℃以?xún)?,精?.1~0.3°C,200℃以?xún)?,精?0.5℃,可選帶有保溫蓋,整個(gè)加熱區形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用。
晶圓烤膠機(烘膠臺)具有自動(dòng)進(jìn)氣功能、過(guò)溫保護功能、超溫報警功能,計時(shí)功能,已獲得CE認證證書(shū)、實(shí)驗更安全、方便。
烤膠機廠(chǎng)家的光刻烤膠機(恒溫加熱)可選帶有保溫蓋,整個(gè)加熱區形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;機器可選擇帶有負壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果。
晶圓烤膠機(光刻)可選擇具有負壓功能,表面設有若干吸附孔,可使被加熱材料與表面緊密貼合,從而達到受熱均勻效果。
晶圓烤膠機(光刻)超快速加熱技術(shù)可使溫度以每秒5°C的速度增加,板表面溫度均勻,溫度100℃以?xún)?,精?.1~0.5°C,200℃以?xún)?,精?℃。
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