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簡(jiǎn)要描述:HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)板表面溫度均勻,溫度100℃以?xún)?,精?.1~0.3°C,200℃以?xún)?,精?0.5℃,可選帶有保溫蓋,整個(gè)加熱區形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用。
詳細介紹
HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)產(chǎn)品說(shuō)明:
1.采用NanoHeat世界一級熱能技術(shù)驅動(dòng),超紅外線(xiàn)輻射、無(wú)機械發(fā)熱組件,可干燒,無(wú)電磁場(chǎng)干擾和危害,
2.板表面溫度均勻,溫度100℃以?xún)?,精?.1~0.3°C,200℃以?xún)?,精?0.5℃,
3.LED顯示,可設定預約溫度,內置溫度探頭和外部溫度探頭,可自由切換。
4.超溫報警功能,設定溫度計時(shí)功能,實(shí)驗更方便
5.陽(yáng)極氧化、納米陶瓷黑色噴砂,熱射率高,無(wú)縫加熱板面,平整度高,耐酸,耐堿,耐腐蝕,無(wú)交叉污染,清潔容易。
6.可選帶有保溫蓋,整個(gè)加熱區形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;
7.機器可選擇帶有負壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果;
8.免受磁干擾和危害:使其成為硅晶片晶圓研發(fā),醫療和實(shí)驗室使用的好選擇
9.廣泛用于工業(yè),電子半導體,農業(yè),化學(xué),制藥,生物,新材料備制等實(shí)驗加熱。
HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)產(chǎn)品特性:
1.增強紅外線(xiàn)加熱技術(shù),
2.具有真空負壓功能,表面設有若干吸附孔,可使被加熱材料與表面緊密貼合,從而達到受熱均勻效果。
3.帶有加熱保溫蓋,溫度可設置,整個(gè)加熱區形成一個(gè)保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;
4.自動(dòng)進(jìn)氣功能,過(guò)溫保護功能、超溫報警功能,計時(shí)功能,已獲得CE認證證書(shū)、實(shí)驗更安全、方便??!
HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)技術(shù)參數:
1.加熱輸出功率:2000W
2.板面溫控:室溫~350℃
3.溫控模式:LED數顯溫度自由設定
4.溫度測試:內置溫控與外置溫控可切換
5.溫度控制精度:±0.1
6.加熱區:350×350mm(尺寸可定制)
7.功能選項:真空吸附功能:無(wú)極調節真空度,使樣品受熱更均勻;
8.頂針功能:直徑3mm,高度30mm任意設定高度,方便取片,樣品無(wú)接觸,避免污染;
9.限位功能:適合不同大小尺寸晶圓,防止樣品偏移,起到固定作用;
10.程序分段控制系統:時(shí)間設定,功率輸出比設定,升溫曲線(xiàn),通信等
11.產(chǎn)品外形尺寸:420×460×250mm
12.板面材質(zhì):納米陶瓷噴砂加熱面板
產(chǎn)品咨詢(xún)
郵箱:1353756166@qq.com
地址:深圳市鹽田區東海大道西447號奧克微大樓5樓
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